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• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |d Microsystem design and fabrication |9 wei xi tong she ji yu zhi zao |f 王喆垚编著 |z eng

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 10,742页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 信息、控制与系统技术丛书

• 330 __ |a 本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。

• 461 _0 |1 2001 |a 信息、控制与系统技术丛书

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 设计

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 制造

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 王喆垚 |9 wang zhe yao |4 编著

• 801 __ |a CN |b CZZYJSXY |c 20190108

• 905 __ |a FYSF |d TN4/11

• 907 __ |a CZZYJSXY |b 00230137-38 |d TN4 |e 11 |f 2

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