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• 200 1_ |a 可重入制造系统的控制 |9 Ke Chong Ru Zhi Zao Ji Tong De Kong Zhi |b 专著 |f 张洁，吴立辉，翟文彬著 |9 Zhang Jie ， Wu Li Hui ， Di Wen Bin Zhu

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 296页 |d 24cm

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书主要从可重入制造系统的控制体系结构、控制方法和控制性能分析方法等角度对可重入制造系统控制问题进行介绍。重点阐述了可重入制造系统的分层自适应控制体系结构、分层协同控制技术、重调度控制技术、预测控制系统控制的实验证平台和在企业车间的信息化系统等。

• 606 0_ |a 半导体工艺 |x 自动控制

• 606 0_ |a 半导体工艺

• 606 0_ |a 自动控制

• 690 __ |a TN305 |v 4

• 701 _0 |a 张洁 |9 Zhang Jie |c (女, |f 1963~) |4 著 |9 zhang jie

• 701 _0 |a 吴立辉 |9 Wu Li Hui |c (制造技术) |4 著 |9 wu li hui

• 701 _0 |a 翟文彬 |9 Di Wen Bin |f (1974~) |4 著 |9 zhai wen bin

• 801 __ |c 20110501 |a CN |b GYTS

• 905 __ |a FYSF |d TN305/3

• 907 __ |a CZZYJJXY |b 00173698-700 |d TN305 |e 3 |f 3

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