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• 200 1_ |a 集成电路制造工艺 |9 Ji Cheng Dian Lu Zhi Zao Gong Yi |f 本书编写组编著 |9 Ben Shu Bian Xie Zu Bian Zhu

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1971

• 215 __ |a 213页 |d 20cm

• 606 _0 |a 集成电路

• 690 __ |a TN41 |v 四版

• 711 02 |a 本书编写组 |4 编著

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